Centrifughe WS per wafers di silicio

IDROESTRATTORE per WAFERS di SILICIO "WS"
 
Esecuzione per CLEAN ROOM con le seguenti caratteristiche:
Capienza, a seconda del paniere montato:
  • n. 4 culle adattabili da 6,5,4,3"
  • n. 4 culle da 6"
  • n. 4 culle da 8"
  • n. 2 culle da 10"
Veloce adattamento ai diversi diametri mediante una coppia di spine sui bordi del cestello ed una coppia di appoggi ad angolo rinforzati sul fondo.
Il paniere in acciaio inossidabile ha una costruzione alleggerita senza superfici concave rivolte verso l'interno del paniere ed é attrezzato con le cave di alloggiamento delle culle portawafer. La struttura é calcolata per una velocità massima di 900 giri/minuto con un carico di 4 cestelli da 6".    ELETTROLUCIDATURA di tutti i particolari rotanti e vasca di contenimento.
Gruppo di comando completo di motore a velocità variabile ad accoppiamento indiretto.
Introduzione H2O e azoto ionizzato in PVDF a circuiti totalmente indipendenti, PIPING IN PTFE: raccorderia in PTFE o PVDF
L'intercettazione dei fluidi avviene attraverso valvole con circuito a pressione differenziale (non interrompibile).
Con coperchio (a sezione piana) rivestito in teflon colore nero, a doppia parete riscaldato con resistenze elettriche e con alloggiamento dello ionizzatore. In posizione di chiusura il coperchio viene mantenuto bloccato da un sistema di sicurezza a pistone.
CONTROLLO di PROCESSO a PLC per sequenza totalmente elastica a programmazione diretta con linguaggio evoluto e dedicato.
RISCALDATORE AZOTO coibentato a bagno di glicole,
CARENATURA ESTERNA in acciaio verniciato costruita a pannelli removibili su di una struttura slegata dalla struttura di supporto della centrifuga.
PIANO di LAVORO in moplen con bordo di contenimento e scarico acqua attraverso piano forato e vasca convogliata.
GRUPPO di FILTRAGGIO H20 composto da filtro FLUOREX tipo millidisk 0,22 microns
GRUPPO di FILTRAGGIO AZOTO composto da filtro FLUOREX 0,2 micron e 1 filtro WAFERGARD 0,2 micron
GRUPPO di CONTROLLO ALIMENTAZIONE composto da n. 2 flussimetri
GRUPPO di ALIMENTAZIONE AZOTO IONIZZATO composto da antistatico GM, con ugello a distribuzione radiale.
 
 

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